智能质量流量控制器-精密测量 完美控制 控制精度±1%FS(恒流)
   
ZF-MFC-1系列质量流量控制器是以气体的质量流量为计量基准的流量计。其测量值不随气体的压力,温度的变化而波动。较之一般的体积流量计具有无可比拟的优越性,同时具有测量精度高,计量的起始流量小,流通阻力小,耐腐蚀性能好等特点。
    ZF-MFC-1系列质量流量控制器不仅具有精度高、重复性好、并有很好的流量稳定作用 (0.15MPa ~
0.6MPa输出值保持不变)可程序设定流量、手/自动软切换、数字调零、不同气体系数修正、直接数字设定流量、稳定可靠,操作方便,并可直接与上位机连接,由上位机实现设定、控制、记录等功能,同时可输出4~20mA信号,可供远程仪表连接。
 

流量范围:0~100, 200, 300,500 SCCM(ml/min)     特殊规格另定
准 确 度:±2%FS
控制精度:±1%FS(恒流)
线 性:±2%FS
工作压差范围:0.1~0.5MPa
耐 压:1MPa
编程功能:多段程序设定流量(可配置)
工作环境温度:-10~+50℃
 

电源电压:DC15V/0.5A
控制方式:智能人工数显装置
输出信号:4~20mA
计算机接口:RS485
调零方式:数字调零
设定流量方式:键入
手/自动切换:无扰动
外形尺寸:168×30×132mm
重 量:0.92Kg

适用范围:
IC工业特种材料学科化学工业、石油工业、照明、医药、环保、真空、扩散、氧化、外延CVD、等离子刻蚀溅射 、离子注入镀膜设备、光纤、熔炼微反应装置、混汽配气系统、毛细管测量、气相色谱、热分析