精密电磁调节阀

※适用介质：气体，耐腐蚀（316不锈钢）
※介质压力：≤1.6MPa
※管道通径：M10x1
※调节电压：5～15V
※工作电流：≤0.5A
※调节精度：≤2%
※介质温度：≤100℃
※工作时间：长期
　

适用范围：
IC工业特种材料学科化学工业、石油工业、照明、医药、环保、真空、扩散、氧化、外延CVD、等离子刻蚀溅射、离子注入镀膜设备、光纤、熔炼微反应装置、混汽配气系统、毛细管测量、气相色谱、热分析